大理石平板的具体技术跟补偿控制

【一】、超机械加工的具体技术
由于进行超机械加工的制作材料较小，其加工技术的步骤较为繁多，加工技术较为复杂，并且其表面粗糙度标准要在数百纳米内，加工的形状精度要达到百微米级别或者是百纳米的级别，所以说，大理石平板在其加工的过程中，艰难程度是巨大的；并且在机械加工的过程中，同时还要应用磨削、切削等制作工艺，这无疑很是加重了超机械加工技术的实施难度。现今机械加工中，大理石平板由于其精度受到环境影响微小，越来越广泛的用于机械加工中的基准。
1、磨削技术
磨削技术在超机械加工技术中，其实就是对产品进行抛光与磨光的过程。但是有许多的超机械加工材料由于其性质的问题，很多材料都较为脆弱，在进行超机械加工技术磨削加工环节中，容易出现材料断裂等问题，导致资源的浪费。因此在进行超机械加工技术磨削加工环节技术中，需要不断地提升加工机床在高速运转过程中的精度以及机床的刚度，并且还要其磨削刃的锋利性，提高产品的生产效率，加工产品的质量。
2、切削技术
为了加工机械的质量以及机械的度，切削技术在超机械加工技术中是较为重要的制作环节。因此为了减少切削加工过程中产生的误差，便要求技术人员在切削的过程中要投入全部的耐心与精力；同时还要控制好切削的形态，切削的锋刃度以及切削环境的温度等条件。经历了大量相关的实验，许多科一学家已经可以将切削加工中需要达到的各种因素数据然后确定，对切削加工技术的水平有了很大的提高。
3、研磨技术
在产品磨削加工中，由于产品具有形态各异的形状，而造成产品研磨失败率一直居高不下，使产品研磨的失败，导致了其产品需要重复的进行磨削加工，产品生产效率较为的低下，产品完工时间延长。因此，在产品进行研磨的阶段，就要针对产品的给进速度以及停留时间，做出准确的估算，提高产品研磨的成功率。
【二】、扰动分析与补偿控制
扫描过程中，掩模台匀速段预期控制精度为其位置误差小于40nm，任何扰动因素都会对该精度产生严重影响，大理石平板平台需要对外部存在的干扰进行分析，并设计相应的前馈控制器进行补偿。主要包括：投影物镜振动前馈补偿、粗微台电磁耦合补偿、垂向对水平向的耦合补偿等。
1、投影物镜振动干扰与补偿
投影物镜通过机架支撑，具有质量大、重心高等特点，扫描运动所致的运动冲击易造成投影物镜产生振动，任何微小振动将造成曝光线条偏离严重，影响同步扫描的曝光精度，因此，需要对物镜振动所致干扰进行补偿，以掩模台与投影物镜的相对位置关系。
2、垂向运动对水平向运动耦合与补偿
工作台的微动台为空问6白由度运动，3个垂向直流电动机驱动凸轮单元支撑水平向洛伦兹电动机，实现垂向与水平向的控制分离。工作台在扫描曝光过程中，为补偿不同的硅片形貌误差，需要进行垂向的调平调焦运动，此运动将导致水平向洛伦兹电动机动、定了问隙发生变化，从而引起水平向驱动力产生角度倾斜。同时，垂向的调平调焦运动要求执行部件有较高的响应速度，随之而来的是运动可能造成的振动，从而导致垂向运动对水平向产生扰动。
对于此类扰动，采用垂向加速度前馈控制进行补偿，将垂向运动作为扰动力通过补偿模型引入控制器。
3、粗、微运动台电磁耦合与补偿
工作台粗、微运动依靠平面电动机的电磁耦合进行关联，扫描运动由主从控制模式实现，即微动台实现小行程、纳米级运动，粗动台大行程、微米级跟随，粗动台以逼近霍尔传感器的值为零跟随微动台运动。由于粗动台(直线电动机)白身结构所限，在跟随运动时会产生较大的推力波动，虽然该波动可以通过实测手段并结合PID中的积分环节予以测量和补偿，但由于粗、微运动精度存在量级上的差异，粗动台的运动误差仍然可以通过电磁耦合影响微动台的控制精度，需要设计补偿控制器此耦合扰动。