02-18
大理石平板控制参数校准技术及未来发展特点
其一、控制参数校准技术 光刻机工作台是多变量的控制系统,存在动力学模型非线性、各白由度强藕合的特点, 大理石平台 控制策略在工程实施过程中存在着不可避免的简化,导致控
02-18
铸铁平台的生产工艺流程基本跟调整方法
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02-15
T型槽平板使用前修正工作偏差注意事项与加强筋设计
一、T型槽平台使用前修正工作偏差注意事项 T型槽平台是用于工件检测或划线的平面基准器具。平台安装应调至水平、负荷均匀分布于各支点上,环境温度(20±5℃),使用时应避免震