大理石平板工艺分析与控制参数校准技术

[一]、机械制造加工工艺分析
智能技术的发展，推动机械制造自动化水平的提升，也加大了机械零件制造质量与度的提升，的推动了机械制造行业的发展。然而，对机械制造工艺技术要求逐渐提升，使得传统机械制造工艺水平和零件精度不能满足机械制造的发展的需求，需要改进和优化。
1、机械制造工艺与加工技术特征分析
分析大理石平板机械制造工艺与加工技术特点，明确二者之间的联系和作用，为加工技术的应用和制造工艺优化奠定基础。
(1)关联性。机械制造工艺与加工之间具有联系，借助加工技术可完成对机械制造工艺的优化，进而推动机械零件的加工质量和加工效率，满足行业发展的需求，规避质量隐患。二者的综合作用，可以推动机械制造企业的发展和进步。
(2)系统性。机械制造工艺可以将诸多现代技术综合利用，的对工艺的各个流程进行优化，机械制造工艺中的加工技术和高大理石平板的应用，有助于推动机械制造成为一个完成的系统，继而推动机械制造的整体质量。
(3)竟争性。经济一体化影响，使得机械制造工艺与技术受到市场的影响较为明显，进而优化的机械制造工艺与的技术有助于的推动制造企业提升产质量、生产效率，并降低生产成本，进而推动机械制造企业市场份额提升。
2、机械制造工艺分析
现阶段，机械制造工艺复杂且逐渐借助信息技术，对提升工艺效率和工艺质量具有积极的作用。且需对不断优化的机械制造工艺展开解读，具体的制造工艺如下。
(1)气体保护焊接工艺。焊接工艺是机械制造工艺中的重要部分，为了避免焊接过程中，外界因素的影响，选择气体保护焊接工，可以起到熔池和电壶与空气的分离，进而焊接质量。通常情况下，考虑效益因素，可以选择CO2气体保护焊的方式，的完成对焊接物的保护，积极推动机械加工质量的提升。
(2)搅拌摩擦焊焊接工艺。同样属于焊接工艺，且常用于大型生产线中，实现汽车、飞行器等的制造。且经过长期的实践研究，搅拌摩擦焊焊接工艺的完善和改进，可以很为的应用到诸多中。目前，搅拌摩擦焊焊接工艺具有材料消耗少，所需焊接温度较低的特点，具有较高的应用价值。
(3)电阻焊工艺。这类工艺的具体实施中，将两个目标焊接件置于电极之间，借助焊接电流，实现对两个目标焊接件的接触区域的加热，且达到熔点后，目标焊接件表面的金属原子分离，并形成金属键，再由金属键的相互作用，完成焊接的目的。这类焊接方式焊接过程简单，焊接成本、低。
(4)埋弧焊工艺。焊剂层与电弧的综合作用，完成对零件的焊接。现阶段，主要选择自动埋弧焊的方式。这类焊接工艺具、焊接质量稳定的方式，且不会造成弧光与烟尘的特点。
具体的机械制造工艺中，需要结合具体的焊接需求，完成对机械制造工艺的选择，从而机械制造工艺的应用，降低质量隐患。

[二]、控制参数校准技术
光刻机工作台是多变量的控制系统，存在动力学模型非线性、各白由度强藕合的特点，大理石平板平台控制策略在工程实施过程中存在着不可避免的简化，导致控制精度的下降。此外，工作台长期高速运动所致的器件温漂，部件运动过程中的松动也会造成控制参数与实际模型不匹配，进而影响控制精度。因此，需要对工作台的运动特点进行分析，设计相应的参数校准方法，通过对控制参数的校准与标定进而补偿工作台系统中的不确定因素。
1、电动机常数校准
电动机常数负责将控制器输出的力转换为驱动电动机运动的电流值，基于控制系统中实测的机械传递函数，计算出系统的测试质量，通过测试质量与工作台实际质量的比值，校正电动机常数，使控制器输出力转换为驱动电流。
2、加速度前馈控制参数校准
加速度前馈环路与位置反馈环路之问存在耦合。理论上，如果加速度前馈控制参数足够准确，工作台运动所需驱动力由前馈环节提供，此时，位置误差将为零。基于上述分析，将实测反馈环路的控制力转移到前馈环节，通过改变前馈控制参数来承担所转移的反馈控制力，进而起到校准前馈控制参数的目的。校准过程应该迭代进行，基于跟随误差较小的原则建立目标函数，并采用梯度矢量求解的方法对固定前馈控制结构中的参数进行了校准；基于工作台的规划加速度和实测反馈控制力，计算出转换质量并进行叠加，实现了前馈控制参数的迭代校准。
3、解耦控制参数校准
解耦控制器是微动台动力学模型的逆变换，由于工程实施过程中存在简化，解耦控制参数无法与系统特性匹配。在水平向3白由度运动控制中，如果解耦参数准确，一个方向的运动对其他两个方向的跟随误差不会产生影响，基于此，利用运动方向的规划加速度和非运动方向的反馈控制力计算串扰系数，将非运动方向的反馈控制力通过解耦参数的改变(即校准过程)进行转移；基于运动过程中非运动方向跟随误差较小的原则，构建目标函数并进行极值求解，对解耦控制器中的参数进行了校准。